SEMI兼容
半导体设备软件平台
面向半导体设备集成的控制、通讯与扩展软件底座
核心能力
- 设备控制框架：统一管理设备状态机、动作流程和异常处理。
- 多设备适配：支持不同厂商核心部件的协议适配和参数配置。
- 接口集成：便于与 MES、上位机和工艺系统进行数据交互。
- 稳定交付：支持权限控制、日志追踪和关键动作留痕。
平台特性
标准体系
SEMI 兼容设计
通讯方式
JSON / TCP / 可扩展适配
兼容对象
Load Port / Robot / Aligner
部署模式
项目化部署 / 现场联调
扩展能力
支持定制流程和外设接入
目标客户
- 半导体设备厂商的软件研发团队
- EFEM / 真空设备集成商与方案商
- 负责现场联调与量产导入的交付团队
- 需要统一接口标准的工艺升级项目
使用场景
- 新机型快速导入与部件替换
- 产线现场集成与联调
- 设备升级改造与接口标准化
- 工艺控制与数据采集能力扩展