核心能力
- LoadPort管理：晶圆盒自动加载与卸载，支持多种Cassette类型，兼容不同品牌型号。
- Robot控制：R、Z、ARM1、ARM2四轴联动控制，支持Pick、Place、Home、Grip、UnGrip等完整动作序列。
- Aligner预对准：晶圆自动校准定位，提高传输精度与工艺稳定性。
- 系统集成：支持MES与上位机对接，SECS/GEM标准通讯，便于产线快速接入。
平台特性
适用晶圆
6~12寸多种材质
通讯协议
SECS/GEM / E84 / RFID
核心部件
LoadPort / Robot / Aligner
用户管理
角色分级 / 权限控制 / 操作审计
报警系统
实时监控 / 分级报警 / 事件追溯
目标客户
- 半导体设备厂商的研发与制造团队
- 晶圆制造企业的自动化产线部门
- EFEM / 真空设备集成商与方案商
- 产线自动化升级与国产替代项目
使用场景
- 晶圆自动传输与校准
- 设备前端模块系统集成
- 产线自动化改造与升级
- 新机型快速导入与部件替换
软件功能展示
EFEM控制软件覆盖设备管理的完整业务流程，提供直观的操作界面与强大的功能模块
系统总览
设备状态一目了然，实时监控LoadPort、Robot、Aligner运行状态与关键参数
Robot控制
R/Z/ARM1/ARM2四轴联动控制，支持Home、Reset、Move、Jog、Pick、Place等完整操作
任务管理
晶圆传输任务创建、调度与执行追踪，支持任务队列管理与优先级配置
报警管理
实时报警提示与分级处理，支持报警规则配置、事件追溯与历史查询
数据记录
完整的日志记录与报表管理，支持按模块、类型、日期区间多维度查询